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低温外延生长平整ZnO薄膜
在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面。本文使用分子束外延方法, 采用a面蓝宝石为衬底......
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ZnO
分子束外延
生长温度
平整表面
ZnO
molecular beam epitaxy
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smooth growth
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